用於生物應用的納米壓力傳感器初始偏轉的測量

利用這種技術，可以快速、無損地測量密封前後釋放膜的撓度

在用於(yu) 生物應用的納米壓力傳(chuan) 感器的製造中，犧牲層蝕刻和由真空間隙分隔開的兩(liang) 個(ge) 膜的密封，以形成 Fabry-Pérot 諧振器，這些都是至關(guan) 重要的因素。

知道在製造過程之後膜片初始撓曲的確切時間同樣也是關(guan) 鍵。

圖 1.製成的壓力傳(chuan) 感器的 SEM 圖像（條形刻度 1 µm）

壓力傳(chuan) 感器是一個(ge) 6×10 µm 的芯片，包括一個(ge) 由兩(liang) 個(ge) 被真空間隙隔開的多晶矽膜和一個(ge) 光學參考區域限定的機械傳(chuan) 感器。

薄膜起平行反射鏡的作用，構成 Fabry-Pérot 諧振器 ，對某些波長部分透明。 外部壓力 P 使薄膜偏斜並使間隙發生改變。該器件旨在測量活體(ti) 細胞不同成分內(nei) 部的壓力變化。

圖 2.未塌陷膜（頂部）的的器件和塌陷膜（底部）的器件（條形刻度為(wei) 1 µm）

當前，膜撓度會(hui) 在內(nei) 部化之前先使用掃描電子顯微鏡 (SEM) 進行測量，但是在 SEM 中，樣品必須處於(yu) 真空壓力下，這可能會(hui) 改變其初始狀態。

使用 Sensofar 米兰竞猜足球官网首页，我們(men) 能夠以快速、非侵入性的方式測量製造後的膜撓度。芯片尺寸隻有幾微米，但是膜的曲率更接近幾十納米，因此必須使用高倍率的透鏡

                                                                     圖 3.幾個(ge) 壓力傳(chuan) 感器的輪廓分析

圖 4.從(cong) 基板釋放之前壓力傳(chuan) 感器陣列的 3D 形貌

利用這種技術，我們(men) 可以快速、無損地測量密封前後釋放膜的撓度，以檢查膜是否塌陷。以前檢查膜是否塌陷必須借助 SEM，但這會(hui) 因真空而導致膜撓度發生變化，並且撓度值也不十分可靠。

這些測量是通過 Plµ 2300 使用具有 100 倍明場物鏡的共聚焦技術獲得的。 Sensofar 設備提供基於(yu) 三種技術的非接觸式 3D 表麵輪廓儀(yi) ：共聚焦、幹涉測量和多焦麵疊加技術。Sensofar 設備可以實現快速且無損的高分辨率測量，並且可根據需要通過用戶友好的軟件提供技術支持。

圖 5. 6x10 µm 釋放壓力傳(chuan) 感器的 3D 形貌