您能否首先向我們(men) 的讀者簡要介紹一下Sensofar和公司的運營領域？

Sensofar 成立於(yu) 2001 年，在亞(ya) 洲、歐洲和美國擁有龐大的全球足跡。該公司擁有約 75 名員工，我們(men) 在全球銷售了大約 1,000 套係統。這些係統可以在各個(ge) 行業(ye) 中找到，包括半導體(ti) 和微電子、航空航天和汽車應用、醫療設備以及大學的一係列科學應用。

在整個(ge) 本世紀初，該公司的重點是了解目標市場和開發技術，2008 年，Sensofar 轉向更多地關(guan) 注銷售和製定增長戰略。

到 2014 年，我們(men) 的產(chan) 品組合已經多樣化。我們(men) 提供我們(men) 的旗艦係統 S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页，以及從(cong) 傳(chuan) 感器頭到電動係統的一係列其他係統。

我們(men) 已經開發了許多專(zhuan) 門針對微電子和半導體(ti) 行業(ye) 的解決(jue) 方案，我們(men) 已經看到這兩(liang) 個(ge) 領域的巨大增長，其中大部分重點是我們(men) 如何提高PCB和半導體(ti) 市場的質量。

您能給我們(men) 介紹一下 S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页嗎？

第 5 代 S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页是市場上速度最快的掃描共聚焦輪廓儀(yi) 。它非常易於(yu) 使用，並且與(yu) 以前的型號相比具有一些關(guan) 鍵優(you) 勢。為(wei) 了提高穩定性，我們(men) 采用了橋式設計，傳(chuan) 感器頭采用改進的算法來生產(chan) 市場上最快的係統，沒有活動部件，因此，**的服務要求或需要廣泛的校準。

我們(men) 的相幹光幹涉測量和相移幹涉測量使 S neox 能夠實現亞(ya) 納米分辨率（需要時）。最後，我們(men) 新的主動照明焦距變化的紋理化能力特別**，使我們(men) 能夠實現幾乎共聚焦的分辨率。

  SensoPRO軟件包如何與(yu) S neox 3D Optical Profiler配合使用？

Sensofar 有多種分析軟件，SensoPRO 是受歡迎的自動化解決(jue) 方案。大多數係統都提供手動繪製測量或推斷粗糙度值的功能，但為(wei) 了減少任何類型的主觀性，工程師還可以創建一個(ge) 采集程序，然後由自動化的SensoPRO程序自動分析。

由於(yu) S neox 在確定采集配方後將自動測量引入表格，因此將 S neox 與(yu) SensoPRO 結果相結合，即可進行自動采集和分析。在 SensoSCAN 中單擊 Acquire，即可獲得通過和失敗報告。

  半導體(ti) 和微電子行業(ye) 通常需要什麽(me) 樣的測量能力？

我們(men) 談論的是兩(liang) 個(ge) 對其產(chan) 品有很高“期望"/要求的行業(ye) 。流行的表麵表征技術是共聚焦和幹涉測量，因為(wei) 它們(men) 分別表現出最佳的橫向和最佳垂直分辨率。

舉(ju) 個(ge) 例子，在晶圓組裝中，前端通常是晶圓的製造方式，後端處理引線鍵合和封裝。Sensofar 的主要優(you) 勢在於(yu) 後端。

切片通常用金剛石切割，通常進行兩(liang) 次單獨的切割。第一次切割是分離，第二次切割是較小的測量，以確保沒有損壞芯片。這些切割可以有多種尺寸，擁有具有不同技術的顯微鏡非常方便，因為(wei) 可以根據每種尺寸選擇理想的技術。

這些雙步高度可以手動測量，也可以通過SensoPRO自動測量。還有一係列其他關(guan) 鍵測量參數，所有這些參數都可以由 S neox 和 SensoPRO 來滿足。

  在質量控製應用中，什麽(me) 樣的測量是重要的，Sensofar如何與(yu) 客戶合作實施這些測量？

首先，尺寸分析是主要檢查之一：MEM行業(ye) 需要測量平坦區域的半徑，而低倍顯微鏡無法捕獲半徑。此外，CSP後端的跡線很容易使用共聚焦或幹涉測量技術進行成像，重複性誤差為(wei) 0.5%。

然而，在PCB表征中，粗糙度對於(yu) 了解PCB的粘合性能至關(guan) 重要。您可以手動進行這些計算，也可以對SensoPRO進行編程，以自動為(wei) 您提供這些數據。SensoPRO可以計算區域標準ISO 25178定義(yi) 的任何粗糙度參數。

對於(yu) 這種測量，有人使用手寫(xie) 筆輪廓器，這不僅(jin) 具有破壞性，而且提供的信息非常有限。將表麵理解為(wei) 一個(ge) 區域並使用 Sa 麵參數肯定會(hui) 更好地了解樣品。對於(yu) 那些使用手寫(xie) 筆並想大跳轉到區域的人，我們(men) 確實有能力將 Ra 與(yu) Sa 相關(guan) 聯。

另一個(ge) 經常性的應用是CMP機器。使用 S neox，可以知道其焊盤的生命周期階段。通常，供應商將確保 8 小時的使用壽命。使用水浸物鏡使用 S neox 進行測量，可以一直測量墊子，從(cong) 而可以確認其狀態。這種做法導致在28-30小時之間使用墊子，從(cong) 而產(chan) 生了重要的成本節約功能。

對於(yu) 光伏電池或太陽能電池，測量真實的3D表麵積可以讓我們(men) 了解太陽能電池的效率。SDR 是 ISO 25178 參數，可讓我們(men) 了解實際收集光的表麵積。此參數給出了地形的總麵積，就好像我們(men) 正在拉伸它並測量它將占據的 2D 區域一樣。

  Sensofar 采用什麽(me) 策略來測量大批量樣品？

SensoSCAN軟件可以自動提示顯微鏡識別樣品上的基準標記位置，然後移動到感興(xing) 趣的區域進行實際測量。基準點代表了一種加載不同樣品的方法，並確保正確測量采集配方中所有已建立的位置。

這種方法對於(yu) 多用戶實驗室很有用，例如，在多用戶實驗室中，創建例程的工程師將是**能夠控製任何潛在更改的個(ge) 人。因此，采集軟件SensoSCAN 具有 3 個(ge) 操作級別：管理員、高級操作員和操作員。

  您是否對半導體(ti) 和微電子行業(ye) 的缺陷進行了表征？

對於(yu) 缺陷模式分析，我們(men) 通常查看焊盤缺陷。這些是探針深度，重要的是要了解這種印象與(yu) 底層芯片的接近程度。

我們(men) 在手機行業(ye) 經常看到這種情況，如果印象太接近，可能會(hui) 導致故障。雖然如果發生這種情況，購買(mai) 新手機可能會(hui) 更容易，但我們(men) 也看到這些芯片在汽車行業(ye) 使用，其中故障可能是汽車停止或不停止之間的區別。

重要的是要確保這些芯片不會(hui) 失效，我們(men) 可以相對較快地用單個(ge) 視場進行測量。這可以使用我們(men) 的幹涉儀(yi) 來完成，我們(men) 可以確定焊盤壓印的深度。有效的引線鍵合需要了解力。如果力太弱，則粘結劑有可能分離，但如果力太強，則可能會(hui) 產(chan) 生裂縫或損壞底層。

Sensofar 的解決(jue) 方案包括使用 10 倍幹涉儀(yi) 透鏡測量圖像的能力。競爭(zheng) 並不總是提供這種能力，因此為(wei) 了達到這種分辨率，他們(men) 將在共聚焦中獲得相同視野的 50 倍或 100 倍測量值，然後將多個(ge) X 和 Y 圖像拚接在一起以創建馬賽克。這很耗時，而且它不能提供與(yu) 幹涉儀(yi) 相同的垂直分辨率。

  在處理由矽和其他材料製成的晶圓時，應考慮哪些方法和技術？

在使用砷化镓 （GaAs） 晶圓時，重要的是要了解 VIA（電路徑）的數量及其尺寸。在這裏，SensoPRO是關(guan) 鍵，因為(wei) 它包含一個(ge) 插件，允許用戶自動確定VIA的底部或頂部直徑，高度和相對X-Y位置。

VIA的圓度也是一個(ge) 關(guan) 鍵尺寸，SensoPRO給出了詳細的描述：頂部和底部直徑、高度、孔的X位置以及頂部和底部圓心之間的距離。該插件帶有不同的參數以適應測量。我們(men) 所有的插件都是可配置的，我們(men) 可以添加和刪除參數以更好地適應要測量的樣品。

晶圓中通常具有的其他特征是溝槽、走線、台階高度或激光雕刻。我們(men) 提供兩(liang) 種解決(jue) 方案：手動測量它們(men) ，其中報告可以根據定量和定性信息的呈現方式進行定製;以及SensoPRO附帶的自動方法，每個(ge) 功能都有一個(ge) 特定的插件。結果是在合格和不合格報告中進行準確的測量。

了解翹曲也非常重要，Sensofar 可以通過坐標函數例程來實現這一點。盡管係統可以處理 6 英寸或更大的晶圓，但無需測量整個(ge) 晶圓。
相反，我們(men) 可以在大約 2 分 45 秒內(nei) 測量 21 個(ge) 預定點，以我們(men) 的共聚焦能力可以達到 20 倍。這種方法不需要任何拚接，但仍然為(wei) 我們(men) 提供了 0.5 微米或 500 納米的分辨率，這足以理解晶圓的翹曲或彎曲。

  最後，您能否簡要介紹一下Sensofar的**方法和能力？

Sensofar 提供市場上最快的掃描共聚焦顯微鏡，使用戶能夠在任何工作、分析或研究中節省時間和金錢。我們(men) 還提供市場上通用的掃描輪廓儀(yi) ，是世界上**一家在一個(ge) 傳(chuan) 感器頭中提供共聚焦、幹涉測量和焦點變化的公司。

SensoPRO誕生於(yu) 為(wei) 我們(men) 的客戶生成的定製插件，現在構成了一個(ge) 軟件包，為(wei) QC市場提供了一個(ge) 全自動的解決(jue) 方案。

Sensofar 提供了使用默認分析軟件 SensoVIEW 進行徒手測量的可能性，但我們(men) 在微電子和半導體(ti) 行業(ye) 的許多客戶都使用 SensoPRO 的自動化功能來消除其分析程序中的任何主觀性。

Sensofar 歡迎有機會(hui) 滿足客戶需求。我們(men) 非常靈活，能夠提供定製解決(jue) 方案，即使是具有挑戰性的樣品或應用。