Sensofar共聚焦白光幹涉儀|多焦麵疊加

主動照明多焦麵疊加是一種為(wei) 了測量粗糙的表麵形狀而開發的光學技術。這項技術基於(yu) Sensofar 在共聚焦和幹涉 3D 測量領域的廣泛專(zhuan) 業(ye) 知識，專(zhuan) 門設計用於(yu) 補充低放大率下的測量

BACKGROUND

Sensofar共聚焦白光幹涉儀(yi) |多焦麵疊加原理

主動照明多焦麵疊加技術利用了明場中存在景深的特點，

樣品隻有在的特定 z 範圍中對焦。 景深會(hui) 根據物鏡的數值孔徑或光源波長而變化。

Z 高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來計算的

從(cong) 而得出正確的對焦位置。