Sensofar米兰竞猜足球官网首页用於微流體應用的激光製造微通道表征

利用 Sensofar 的 3D 米兰竞猜足球官网首页 S neox，我們(men) 可以輕鬆表征通過激光技術製造的微通道的形貌

      因微流體(ti) 領域呈現出的巨大應用潛力，它在過去幾年中經曆了巨大的發展。直接微流體(ti) 應用的一些例子包括芯片實驗室、芯片器官、護理點器件、細胞捕獲、化學和生物學分析。在用途方麵，微流控器件有不同的幾何形狀，其複雜程度可根據需要而調整，但是構成這些微流控器件的基本結構之一是微通道。

      已知有幾種材料可用於(yu) 製造微通道，而材料的適用性取決(jue) 於(yu) 製造技術。這些材料中包括聚合物、矽或玻璃。製造技術的示例包括軟刻蝕、光刻和熱熔技術。但是，當使用鈉鈣玻璃作為(wei) 材料時（因其堅固性、耐化學性、透明性和低成本），直接激光刻寫(xie) 便成為(wei) 最合適的技術之一。其精確且多用途，可快速生成非常複雜的幾何圖形。而且，由於(yu) 其非接觸性質，因此沒有汙染物並且不需要潔淨室設施。當為(wei) 此應用目的進行納米尺度操作時，必須具有非常良好的形貌圖，以確保其質量，以及有關(guan) 通道尺寸的所有信息。在此報告中，通過共聚焦顯微鏡對通過直接激光寫(xie) 入製造的結構進行了充分表征。

      通過直接激光寫(xie) 入在鈉鈣玻璃上製造微通道。使用的激光器是 Rofin Nd:YVO4 係統，脈衝(chong) 持續時間為(wei) 20 ns，中心波長為(wei) 1064 nm。該裝置由檢流計係統構成，該檢流計係統處理，並且無需樣品移動即可製造複雜的結構。使用焦距為(wei) 100 mm 的透鏡將激光束聚焦在基板表麵上，以確保工作區域麵積為(wei) 80×80 mm2。鈉鈣玻璃購自當地供應商。
      為(wei) 了獲得適當的結構縱橫比，操作員對樣品進行了多次激光掃描。因此對形貌演變進行研究。研究人員通過 1 到 10 次掃描製造出微通道。使用 Sensofar S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页，使用 20 倍放大倍率物鏡捕獲結構區域的共聚焦圖像。生成表麵輪廓，並描繪出激光掃描產(chan) 生的微通道深度變化（圖 1）。
      微通道壁的粗糙度值是一個(ge) 須獲得的關(guan) 鍵值，因為(wei) 它必須足夠低才可用於(yu) 微流體(ti) 應用。利用 Sensofar S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页和 SensoMAP 分析軟件，研究人員得以從(cong) 小麵積獲得粗糙度值。本研究選擇了通過 50 倍放大倍率物鏡獲得的八次激光掃描微通道底部的形貌（圖 2）。

圖 1. 不同激光掃描次數下的多個(ge) 微通道的共聚焦圖像（左：一次，右：十次）。生成的通道輪廓

圖 2. 根據 ISO 25178 標準，用激光製造的一個(ge) 微通道的 3D 形貌以及通道底部的粗糙度參數

     憑借激光直接寫(xie) 入的多功能性和精確度，我們(men) 可以製造出幾種微流控器件。在這裏，我們(men) 顯示了使用 20 倍物鏡獲得的某些示例的部分 3D 共聚焦形貌圖（圖 3）。

圖 3. 3D 共聚焦形貌圖詳細描繪了一些在鈉鈣玻璃操作激光的一些微流控器件示例

     利用 Sensofar 的 3D 米兰竞猜足球官网首页 S neox，我們(men) 可以輕鬆表征通過激光技術製造的微通道的形貌。使用具有 20 倍放大倍率物鏡的共聚焦技術分析激光掃描的結構輪廓的演變。此外，結合 SensoMAP 分析軟件，可以計算出製造出的通道的粗糙度參數。在這個(ge) 例子中，獲取共聚焦形貌時使用了50 倍放大放大倍率物鏡。
     總之，通過使用 S neox 3D 米兰竞猜足球官网首页，可以在尺寸和粗糙度上完*表征每個(ge) 結構。