揭秘 Sensofar CSI 白光幹涉是如何運作的？

Sensofar CSI （白光幹涉） 是如何運作的?

Sensofar 幹涉

為(wei) 了測量超光滑的表麵及中等粗糙表麵的表麵高度，通過幹涉技術，可在任何放大倍率下實現相同的係統噪聲，它可實現優(you) 於(yu) 0.01 nm 的係統噪聲。

CSI （白光幹涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表麵的表麵高度，任何放大倍率下均達到 1 nm 的高度分辨率。

采用幹涉法，3D 測量能以高精度進行。可沿 Z 軸掃描，在整個(ge) 樣本上獲得條紋，用獲取的不同像素的高度重新構建 3D 圖像。