Sensofar共聚焦白光幹涉儀光譜反射技術

薄膜

透明層沉積在表麵上時，其反射率會(hui) 變化。該係統獲取可見範圍內(nei) 樣本的反射光譜，並與(yu) 軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到匹配的厚度。對於(yu) 薄膜，厚度與(yu) 光波長類似，我們(men) 沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應。

主要特征

從(cong)  50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時間內(nei) 測得

從(cong) 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

不到 5 秒內(nei) 采集

一個(ge) 物鏡可覆蓋 整個(ge)  範圍

不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm)