幹涉工作原理

幹涉技術的工作原理是：將光分成光學傳(chuan) 播路徑不同的兩(liang) 個(ge) 光束，然後再合並，從(cong) 而產(chan) 生幹涉。幹涉物鏡允許顯微鏡作為(wei) 幹涉儀(yi) 而工作；焦點對準後，可在樣本上觀察到條紋。

光學方案

PSI 的光學方案與(yu) FV 具有相同配置，但是現在采用幹涉物鏡而不是明場。為(wei) 了獲得形貌，沿著 Z 方向掃描傳(chuan) 感器頭。對於(yu) PSI，掃描幾微米，並檢索相位。對於(yu) CSI，掃描需要的微米數，以掃描完整表麵。

PSI :相移幹涉

對於(yu) 所有數值孔徑 (NA)，開發了相移幹涉法(PSI)，以亞(ya) 埃分辨率測量高度光滑和連續表麵的高度。可以使用極低的放大率 (2.5X) 測量具有相同高度分辨率的大視場。

EPSI:擴展相移幹涉技術

EPSI 結合了兩(liang) 種幹涉測量技術，CSI（白光幹涉） 和 PSI（相移幹涉），在具備數百微米的高度掃描範圍的同時，也能擁有0.1 nm的高度測量分辨率，從(cong) 而克服這兩(liang) 種測量方式本身的技術限製。

CSI:相幹掃描幹涉

相幹掃描幹涉法(CSI) 使用白光掃描光滑到中等粗糙表麵的表麵高度，任何放大倍率下均達到 1 nm 的高度分辨率。

專屬算法

Sensofar共聚焦白光幹涉儀(yi) 采用幹涉法，3D 測量能以高精度進行。可沿 Z 軸掃描，在整個(ge) 樣本

主要特征

   Sensofar共聚焦白光幹涉儀(yi) 帶納米係統噪聲的大視場，無論 物鏡如何  

   PSI：0.01 nm 係統 噪聲 

   從(cong) 1.5 μm 至 100 μm的厚度測量

上獲得條紋，分別從(cong) PSI 或 CSI 的幹涉圖強度或相位獲取高度信息，用獲取的不同像素的高度重新構建 3D 圖像。

幹涉環

在森索法爾，我們(men) 一直致力於(yu) 提高我們(men) 的幹涉儀(yi) 設備的性能。這就是為(wei) 什麽(me) 我們(men) 在我們(men) 的10XDI和20XDI鏡頭中增加了一個(ge) 參考鏡調節環的原因。這個(ge) 小巧但功能強大的增加件使我們(men) 能夠微調每個(ge) 四個(ge) 光源的參考鏡的位置，確保在全色譜範圍內(nei) 實現優(you) 異的性能，並產(chan) 生更準確的幹涉測量結果。