Sensofar共聚焦白光幹涉儀 | AI多焦麵疊加技術

主動照明多焦麵疊加是一種為(wei) 了測量粗糙的表麵形狀而開發的光學技術。這項技術基於(yu) Sensofar 在共聚焦和幹涉 3D 測量領域的廣泛專(zhuan) 業(ye) 知識，專(zhuan) 門設計用於(yu) 補充低放大率下的測量。

BACKGROUND

多焦麵疊加原理

主動照明多焦麵疊加技術利用了明場中存在景深的特點，樣品隻有在的特定 z 範圍中對焦。 景深會(hui) 根據物鏡的數值孔徑或光源波長而變化。 Z 高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來計算的，從(cong) 而得出正確的對焦位置。

光學技術

我們(men) 的光學技術是通過專(zhuan) *的microdisplay來實現，光線會(hui) 從(cong) 光源 (LED) 發出，同時穿過microdisplay上陣列排布的光學元件，反射到達相機。 在這種情況下，microdisplay就像一麵鏡子（100% 反射率）。 這種光學技術就像一個(ge) 標準的視頻顯微鏡。 通過執行垂直掃描，可以在每個(ge) 平麵上捕獲明場圖像。

專*算法

克服多焦麵疊加的限製

在較為(wei) 光滑的表麵上，對焦時會(hui) 無法獲得足夠的信號來識別正確的焦點位置。 這通常是因為(wei) 在光滑表麵的上，會(hui) 出現 3D 雜訊。 Sensofar 使用主動照明進行了改進，現在通過microdisplay 投射出人造紋理（棋盤圖案），即使在光滑表麵上因為(wei) 對比度差而在對焦時無法提供足夠的信號，也能獲得更可靠的對焦位置。

主要特點

該技術的亮點包括高斜率表麵(高達 86º),掃描速度(3 mm/s）和較大的垂直範圍測量。

在散射表麵上測量可達 86º 的斜率支援

主動照明允許在光滑表麵上進行測量 

快速掃描，3 秒內(nei) 拍攝200張圖像 

多個(ge) 光源