白光幹涉儀,作為一種高精度的光學測量儀器,廣泛應用於科研、工業生產和質量檢測等多個領域。它基於光學幹涉原理,能夠實現對物體表麵微觀形貌的精確測量,具有測量精度高、操作便捷、功能齊全和測量參數涵蓋麵廣的優點。
白光幹涉儀的結構主要包括照明光源係統、光學成像係統、垂直掃描控製係統、數據處理係統和應用軟件。照明光源係統通常采用高亮度LED光源,提供穩定、均勻的光源。光學成像係統則負責接收從樣品和參考鏡反射回來的光線,並形成清晰的圖像或幹涉條紋。垂直掃描控製係統能夠精密驅動顯微物鏡上下移動,調整焦距和掃描範圍。數據處理係統由計算機和數字信號協處理器構成,負責采集和處理原始圖像數據。應用軟件則提供操作控製、結果顯示及後處理功能。
其測量原理是光源發出的光經過擴束準直後,通過分光棱鏡被分成兩束光,一束投射到被測樣品表麵,另一束投射到參考鏡表麵。兩束光分別從樣品和參考鏡表麵反射回來,再次通過分光棱鏡後匯聚成一束光,並在CCD相機感光麵上形成兩個疊加的像。由於兩束光的光程差不同,它們會在CCD相機上產生明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差,通過分析幹涉條紋的明暗度及位置變化,可以解析出被測樣品的相對高度或三維形貌。
白光幹涉儀的應用範圍廣泛,包括半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業,以及航空航天、科研院所等領域。它能夠測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表麵,提供從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,為產品質量控製和科學研究提供了有力支持。
此外,它還具有非破壞性檢測的特點,適用於各種材料的檢測,包括金屬、半導體、光學鏡片等。在生命科學和醫學領域,它還可以用來觀察細胞和組織的形態變化,提高細胞成像的分辨率和清晰度。
綜上所述,白光幹涉儀以其高精度、高效率和廣泛的應用領域,成為現代科研和工業生產中至關重要的光學測量工具。
最後展示幾組白光幹涉儀外觀圖片,以便您更好地了解產品。

