澤攸台式掃描電子顯微鏡在液晶顯示器增亮膜檢測中的應用

液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是當前社會(hui) 中應用非常多的顯示器，在日常生活中隨處可見。LCD主要由彩色濾光片基板(Color filter，CF)、TFT陣列(TFT Array) 基板和背光模塊(Back light unit)三大部分所組成。

TFT LCD麵板結構

（圖片來源於(yu) 網絡）

       在這三大組成部分裏麵，背光模塊對LCD非常重要，因為(wei) 背光質量決(jue) 定了液晶顯示屏的亮度、出射光均勻度、色階等重要參數，決(jue) 定了液晶顯示器的發光效果。在背光模塊中有一層非常重要的光學薄膜--增亮膜(Brightness Enhancement Film，BEF)。在增亮膜誕生之前，液晶麵板的光源利用率非常低。增量膜又叫棱鏡片(Prism Sheet)，起源於(yu) 上世紀九十年代，最早由美國3M公司開發，他們(men) 的技術人員將棱鏡導管技術應用到LCD領域。增量膜是在PET表麵利用微複技術和薄膜技術形成棱鏡結構，利用棱鏡片改變入射光的光路，使光的出射範圍更加集中而被LCD更有效的利用，因此可有效提升照明亮度、均勻度及影像對比度，並間接改善背光模塊的耗電性能。

增量膜的製備工藝

（圖片來源於(yu) 網絡）

       增量膜的成型過程主要分為(wei) 塗膜、成型固化兩(liang) 個(ge) 步驟：PET基材向前移動，塗布機將紫外固化膠均勻覆蓋在PET基材表麵，然後帶有微棱鏡結構的輥筒在塗敷層上成型，同時紫外燈固化在PET基材表麵形成微結構、並固化於(yu) 膜的表麵。

       今天我們(men) 聊聊台式掃描電子顯微鏡在LCD背光模塊增量膜表征中的應用。

3M增量膜表麵棱形微觀結構的SEM觀察

（BSE&SE 混合像 BSE占60%,SE占40%）

3M增量膜表麵形貌結構的局部放大圖像

（BSE，SE各占50%）

3M增量膜表麵微觀結構的SEM觀察， BSE圖像

增量膜截麵形貌特征的SEM表征

增量膜截麵的EDS麵掃描分布圖像

增量膜截麵樣棱形結構局部區域的EDS譜圖采集

增量膜截麵微區的EDS線掃描表征

       我們(men) 在3M增量膜截麵棱形結構區域采集了EDS譜圖，發現Zr元素的含量較高，在襯底中C元素的含量較高，並且C元素含量並非均一分布。利用EDS線掃的功能可以非常直接的觀察到材料中所含化學元素分布的變化。

綜上：搭配EDS能譜儀(yi) 的台式掃描電子顯微鏡對增量膜（棱鏡膜）的微觀結構觀察和成分分析十分有幫助。