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技術文章
TECHNICAL ARTICLES掃描電鏡是一種廣泛應用於(yu) 材料科學、半導體(ti) 工藝等領域的*備工具,它可以通過探測樣品表麵激發出來的電子信號,對物質微觀形貌進行表征。在半導體(ti) 工藝中,掃描電子顯微鏡被廣泛應用於(yu) 器件結構的實時檢測和剖麵分析方麵,為(wei) 生產(chan) 和研發提供了其他測試分析儀(yi) 器所無法提供的直接測量信息。
本期內(nei) 容,就讓我們(men) 一起來欣賞ZEM18鏡頭下的半導體(ti) 世界~