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PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環境測量係統,將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品台上,在掃描電鏡中製造可控的氣氛環境並且可以對實驗樣品原位加熱。
蔡司離子束顯微鏡ORION NanoFab集镓、氖、氦三種離子束於(yu) 一身,是能實現從(cong) 微米到納米微加工的成像加工係統。
蔡司雙束電鏡Crossbeam係列(FIB-SEM)結合了高分辨率場發射掃描電鏡(FE-SEM)的出色成像和分析性能,以及新一代聚焦離子束(FIB)的優(you) 異加工能力。
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