Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光幹涉輪廓儀

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光幹涉輪廓儀(yi) 結合了高精度旋轉模塊和S neox 3D米兰竞猜足球官网首页的檢測和分析功能在位置上實現全自動地3D表麵測量，並結合在一起，完成全表麵的3D立體(ti) 測量。S neox 3D測量技術涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦麵疊加技術)、亞(ya) 納米粗糙度（幹涉測量技術）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術）的臨(lin) 界尺寸。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光幹涉輪廓儀(yi) 特點：

1、涵蓋了廣泛的三維測量尺度

S neox 3D測量技術涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦麵疊加技術)、亞(ya) 納米粗糙度（幹涉測量技術）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術）的臨(lin) 界尺寸。

2、應用範圍廣泛

S neox Five Axis可以在位置進行全自動3D表麵測量，並將所有測量結果組合在一起，完成全表麵的3D立體(ti) 測量。

3、完整的3D測量

S neox Five Axis能夠旋轉樣品,在圓周上相同高度的位置測量一係列3D形貌。SensoFIVE 軟件合並相同高度的一係列單個(ge) 3D形貌信息，得到高精度的環形樣品表麵的精確3D表麵。然後合並不同的高度，係統可以在尖銳邊緣和關(guan) 鍵表麵上提供完整的形狀信息。

4、連接相鄰表麵：測量大於(yu) 90º的角度

測量包含陡角的複雜曲麵非常困難，因為(wei) 陰影效應會(hui) 阻止您在單次采集中獲得完整的測量結果。有必要傾(qing) 斜樣品以便從(cong) 兩(liang) 個(ge) 不同的位置測量樣品並將兩(liang) 個(ge) 形貌結果組合以獲得完整的測量結果。Five Axis旋轉台允許樣品沿相反方向定位以使整個(ge) 表麵可見。係統將獲取單獨的測量值，然後，將自動合並它們(men) 以獲得完整的3D立體(ti) 測量。

5、多自由度測量無限製

通過自動化程序，隻需單擊一下即可測量樣品的不同部分。友好的用戶界麵允許您在沒有任何約束的情況下找到測量位置。然後關(guan) 注樣品的關(guan) 鍵部分並將其添加到自動化例程中。最後
點擊"獲取"，隻需單擊一下即可獲得所有測量部件。這是一種自動化測量程序的快速簡便方法。

6、表麵光潔度測量：準確可靠

我們(men) 的共聚焦和幹涉測量技術允許您測量具有任何級別的粗糙表麵，從(cong) 極粗糙（典型的鋼材表麵）到大約1A的高反射表麵 (金剛石或鏡麵)。根據NPL、NIST和PTB粗糙度標準，將我們(men) 的係統轉換為(wei) 重複且可追溯的係統。多焦麵疊加技術使係統對測量大坡度提供了快速、簡便地響應。

7、高精度5軸旋轉平台

Five Axis旋轉平台有高精度電動旋轉A軸和360º無限旋轉、1弧秒定位重複性、和電動B軸、-30º至110º、0.5弧分定位精度、帶限位開關(guan) 組成。還配備了System3R夾緊係統。

8、豐(feng) 富的支架和夾頭

各種支架和夾頭。根據樣品，可提供不同類型的支架。對於(yu) 旋轉樣品，夾頭支架（可根據要求提供多種選擇）帶有十五個(ge) 夾頭，而其他夾頭則為(wei) 扁平夾具。它還包括平麵鏡和校準樣品的校準包。

9、均勻的環形燈增強照明

為(wei) 獲取均勻的照明，配置環形燈照明輔助。環形燈采用LED照明，以均勻有效的方式照射樣品。它安裝在物鏡的上方和周圍，環形燈為(wei) 共焦和多焦麵疊加技術提供增強的信號。這確保了焦平麵處的適當照明。

1、明場

其他可選物鏡: 水浸物鏡、超長工作距離物鏡、加長工作距離物鏡、焦深調節環物鏡 1大視場係 2/3" 攝像頭及光學 0.5X。 2表麵的像素大小。 3 L&S:線條和空間，根據瑞利準則計算半衍射極限。藍光波長。 4根據比較連續兩(liang) 次在垂直於(yu) 光軸的校準鏡片得到的差異計算係統噪音值。 5在光滑的表麵上，在粗糙表麵上可達86º。

2、幹涉

其他可選物鏡: 可變反射率，Michelson、Mirau 及Linnik 1大視場係 2/3" 攝像頭及光學 0.5X。 2表麵的像素大小。 3 L&S:線條和空間，根據瑞利準則計算半衍射極限。藍光波長。 4 對於(yu) 幹涉物鏡，10μm掃描範圍。   5根據比較連續兩(liang) 次在垂直於(yu) 光軸的校準鏡片得到的差異計算係統噪音值。對於(yu) PSI，防震開啟，10 個(ge) 相位平均值。控溫房間，壓電平台掃描儀(yi) 實現0.01nm。 6在光滑的表麵上，在粗糙表麵上可達86º。