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SENSOFAR平麵度測量幹涉儀(yi)
S neox 0.65XSensofar平麵度測量白光幹涉儀(yi)
Sensofar平麵度測量白光幹涉儀(yi) 搭配0.65X物鏡,具有很大視野的物鏡和較高精度的載物台,在平麵度、平行度和台階高度測量方麵提供了較佳的表現。S neox 持續成為(wei) 多功能性的先驅;這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物台,在平麵度、平行度和台階高度量測方麵提供了最佳表現。
產(chan) 品分類
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Sensofar平麵度測量白光幹涉儀(yi) S neox 0.65X,以優(you) 秀的橫向和縱向分辨率測量平麵度。Sensofar平麵度測量白光幹涉儀(yi) 搭配0.65X物鏡,具有很大視野的物鏡和較高精度的載物台,在平麵度、平行度和台階高度測量方麵提供了較佳的表現。
以優(you) 秀的橫向 和縱向分辨率 測量平麵度
S neox 持續成為(wei) 多功能性的先驅;這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物台,在平麵度、平行度和台階高度量測方麵提供了最佳表現。
Sensofar 0.65X Michelson
Sensofar自己設計的0.65X邁克爾遜 物鏡旨在實現一個(ge) 目的:以快速準確 的方式測量平麵度。密集采樣、大視 野和幹涉測量的結合確保了所預期的效果。
高精度 XY 平台
當平麵度要求*高時,高性能XY平台 是關(guan) 鍵要素。平台配備非接觸式光學 線性編碼器,可直接測量平台上的位 置,並具有最高的精度。
應用:
半導體(ti) 、印刷電路板、 微流體(ti) 、航空航天、汽車、 顯示器、光學、手表製造。
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