ZP3-4 微納探針台

ZP3-4 微納探針台可在納米尺度上對樣品和測試設備進行電學表征。

ZP3-4 微納探針台參數

探針數量：4個(ge) 探頭，每個(ge) 探頭配備一個(ge) 三軸探針臂;自由度：每個(ge) 探頭獨立驅動（X、Y、Z三自由度）;

運動：壓電驅動；

步進速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

運動範圍：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

運動分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

探針規格：針柄直徑為(wei) 0.51mm（0.020’’）;

產(chan) 品優(you) 勢

快速、準確、穩定

ZP3-4微納探針台包含4個(ge) 壓電三軸探針臂，每個(ge) 三軸配備1個(ge) 可拆卸式電學探針接口，可在毫米級尺度上進行宏觀運動並實現納米尺度上的微觀運動。

使用場景多樣化

ZP3-4微納探針台結構緊湊，占用空間小，運動行程大，可匹配各種顯微鏡樣品台，真空室，光學試驗台等工作條件。

完善的技術解決(jue) 方案

Z P 3 - 4 微 納 探 針 台 與(yu) 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針台電學測量係統，為(wei) 宏觀行程上進行的微觀尺度電學及表征測量提供了具體(ti) 的解決(jue) 方案。

直觀、方便

ZP3-4微納探針台通過手柄控製，具有多級宏觀調速，脈衝(chong) 運動，以及位移微調功能，宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s，單點脈衝(chong) 步進可達300nm以下，微調運動分辨率小於(yu) 1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，準確。

高度集成

ZP3-4微納探針台電學測量係統，配備完善的光學顯微鏡模塊，配備亮度調節，增益和變焦等功能，與(yu) 電腦連接後，可實現圖像快照，尺寸測量和標注，視頻記錄等常規功能。