SEM納米探針台

SEM納米探針台產(chan) 品實現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(you) 點，可應於(yu) SEM真空腔體(ti) 內(nei) 完成各種納米精度運動操作。

SEM納米探針台產(chan) 品使用壓電陶瓷驅動，運無需潤滑，百分真空兼容，並可在很廣的溫度範圍內(nei) 工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程範圍內(nei) 達到亞(ya) 納米分辨率的定位。

三軸探針台由三個(ge) 單軸運動台組合而成。一SEM腔體(ti) 內(nei) 可安裝多個(ge) 三軸探針台。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

• 結構緊湊，高剛性

• 壓電陶瓷位移平台具有超長使用壽命

• 內(nei) 部根據需求可增加位置反饋

• 應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

• 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應用案例：

對二維材料的電學測量              對器件的電學測量

對芯片的電學測量             對一維材料的電學測量