室溫自動探針台 TZ-H-06

室溫自動探針台 TZ-H-06高可靠性探針台係統，主要應用在半導體(ti) /微電子， 電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學研究領域，以及IC設計/製造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chan) 製造領域。

旨在預算與(yu) 高測量可靠性之間尋求平衡點，該平台配備高精度位移台，可實現X、Y、Z、 R等方向自動調整，各移動軸可實現±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現快速準確的測量。經濟實用，穩定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chan) 品的核心價(jia) 值，在各大高校、研究所及半導體(ti) 行業(ye) 應用廣泛。

室溫自動探針台 TZ-H-06特征

1、標配4個(ge) 探針臂，可提供4-8個(ge) 探針臂。調節範圍50mm*50mm*30mm，調節精度優(you) 於(yu) 5um。每個(ge) 探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品台底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

2、顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時）， 視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(you) 於(yu) 2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

3、樣品座采用電機驅動，可實現快速於(yu) 目鏡下尋找樣品，調節範圍：100mm*100mm*15mm*±180°。