SEM冷凍真空傳輸係統

SEM冷凍真空傳(chuan) 輸係統示意圖

SEM冷凍真空傳(chuan) 輸係統參數

•獨立控製係統

•獨立真空係統

•高匹配360°(無限)旋轉冷台

•冷台傾(qing) 轉角度>55°

•冷台溫度≤180℃

•冷台降低溫時間:≤30min

•冷阱溫度≤l90℃

•冷阱降低溫時間:≤l5min

•冷台、冷阱設計烘烤功能

•烘烤溫度:80℃

•提供定製化樣品梭服務

360°旋轉冷台

功能：用於(yu) 裝載樣品梭及提供低溫保護

參數

•旋轉角度：0-360°

•控溫範圍：-180℃~80℃

•控溫精度：≤土0.1℃

•降溫速度：≤30min

冷阱

功能：低溫保護、吸附汙染物

參數

•控溫範圍：≤-190℃

•控溫精度：≤士0.5℃

•降溫速度:≤15min

真空轉移腔

功能：用於(yu) 樣品的真空轉移

參數

•可實現手套箱-FIB真空相互轉移

•可實現液氮內(nei) 樣品-FIB冷凍製樣真空轉移

真空過度倉(cang)

功能：實現樣品到電鏡的真空過度轉移

參數

•操作快速

•便捷獨立真空係統

•匹配電鏡真空

低溫係統

功能：用於(yu) 為(wei) 冷台、冷阱提供冷源

參數

•液氮容積35L

•持續工作時間>8h

•設計不停機添加液氮端囗

控製係統

功能：用於(yu) 係統的控製、集成和交互

參數

•溫度顯示及控製

•真空係統集成與(yu) 控製

•選配液氮工作站，可滿足樣品的冷進冷出需求