蔡司 EVO係列掃描電子顯微鏡

蔡司 EVO 係列總述

模塊化的 SEM 平台適用於(yu) 直觀操作、例行檢測和研究應用

蔡司 EVO係列掃描電子顯微鏡將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界麵體(ti) 驗結合在一起， 同時能夠吸引經驗豐(feng) 富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學， 材料科學， 或例行的工業(ye) 質量保證和失效分析領域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據您的要求量身定製。

• 顯微鏡中心或工業(ye) 質量保證實驗室的多功能解決(jue) 方案

• 不同的真空室大小和可滿足所有應用要求的載物台選項-甚至是大型工業(ye) 零部件樣品

• 使用LaB6燈絲(si) ，能夠得到優(you) 異的圖像質量

• 對不導電和無導電塗層的樣品的成像和分析性能出色

• 可以配置多種分析探測器用於(yu) 滿足各種顯微分析應用的需求

（一）、蔡司 EVO係列掃描電子顯微鏡優勢

1. 便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與(yu) 其進行交互式工作流程控製。它簡單易學， 大大減少了培訓所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鍾內(nei) 也能夠捕捉令人驚歎的圖像。此用戶界麵還支持需要自動化工作流程以執行可重複檢查任務的工業(ye) 操作員。

2. 優(you) 異的圖像質量

EVO 擅長於(yu) 對未經處理和沒有導電塗層的樣品獲取高質量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態， 維持含水和重汙染樣品的數據質量。此外當成像和微量分析麵臨(lin) 挑戰時，選用LaB6燈絲(si) 則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

3. EVO 能夠與(yu) 其它設備相關(guan) 聯

EVO可以作為(wei) 半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興(xing) 趣區域，並以多種方式收集數據，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合並起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與(yu) 蔡司光學顯微鏡相關(guan) 聯，進行關(guan) 聯顆粒度分析。

4. 適合更多用戶操作

對於(yu) 經驗豐(feng) 富的以及新手用戶操作都很方便。

在實際的實驗室環境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專(zhuan) 家的專(zhuan) 屬領域。但是對於(yu) 非專(zhuan) 家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰，比如學生、受訓者或質量工程師，他們(men) 往往也需要從(cong) SEM獲取數據。 EVO 則同時考慮了這兩(liang) 類用戶的需求，用戶界麵選項既能滿足有經驗的顯微鏡專(zhuan) 家也能滿足非專(zhuan) 業(ye) 用戶的操作需要。

專(zhuan) 家用戶

優(you) 選用戶界麵: SmartSEM

專(zhuan) 家用戶可以獲取以及設定高級的成像參數和分析功能。

SmartSEM: 為(wei) 有經驗用戶使用的控製界麵

新手用戶

優(you) 選用戶界麵: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預定義(yi) 的工作流程和常用的一些參數-非常適合初學者。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡化圖形用戶界麵

5. 智能導航與(yu) 成像

大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產(chan) 出。

• 蔡司導航相機

相機可以安裝在倉(cang) 室前方， 以監測樣品與(yu) 背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉(cang) 室相機)；或安裝在真空室倉(cang) 門上方 (導航相機)， 利用俯視圖查看樣品台上樣品的擺放位置。此視圖可用於(yu) 設置從(cong) 光學顯微鏡圖像中識別出的預定義(yi) 位置， 並在整個(ge) 樣品測試過程中輕鬆導航。

• 自動化智能成像

EVO實現了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義(yi) 邊界區域，自動生成所需的視圖或放大倍數確定的感興(xing) 趣區域，並開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產(chan) 出。

6. 將您的研究提升一個(ge) 層次

使用六硼化鑭電子發射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較於(yu) 傳(chuan) 統的鎢發夾燈絲(si) 所發射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質量。這種優(you) 勢體(ti) 現在以下兩(liang) 個(ge) 方麵:

• 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從(cong) 而使圖像導航和優(you) 化更容易。

• 在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從(cong) 而提高了圖像分辨率。

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (上: 使用鎢燈絲(si) ； 下: 使用LaB6燈絲(si) )
當在具有挑戰性的成像條件下， 使用LaB6燈絲(si) 的用戶將有高達10倍的光束亮度， 從(cong) 而提高了圖像分辨率和對比度。

7. EVO 能夠與(yu) 其它設備相關(guan) 聯

工作流程自動化和關(guan) 聯顯微鏡的好處

由於(yu) 蔡司是各種類型顯微鏡和計量係統的優(you) 秀供應商， 所以您還可以將EVO 與(yu) 蔡司其它解決(jue) 方案相結合，使其功能能夠發揮得更好。

通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guan) 聯顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數碼）光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個(ge) 高效的多模式聯用的工作流程。將光學顯微鏡光學對比方法與(yu) 同樣掃描電鏡成像和分析方法相結合， 獲得互補的數據， 從(cong) 而更清楚地去了解樣品的材料、質量或失效機理。

Shuttle & Find 將EVO、光學顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個(ge) 關(guan) 聯的、多模態工作流程

（二）、蔡司 SmartEDX

用於(yu) 常規SEM顯微分析應用的一體(ti) 化EDS解決(jue) 方案

如果單采用SEM成像技術無法全麵了解部件或樣品，研究人員就會(hui) 借助能譜儀(yi) （EDS）來采集元素化學成份的空間分布信息。

1. 針對常規顯微分析應用進行了優(you) 化

SEM和EDS的搭配使用必須經過謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用於(yu) 常規顯微分析應用，尤其對於(yu) 數據重複性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流（典型的EVO工作條件）下具有很高的通量。得益於(yu) 氮化矽窗口的優(you) 異透過率, SmartEDX更適合於(yu) 探測到來自輕元素的低能X射線。

2. 工作流程引導的圖形用戶界麵

SmartEDX旨在提高多用戶環境中的易用性和工作流程重複性。與(yu) 其他蔡司工作流程引導的軟件解決(jue) 方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一樣，SmartEDX軟件易於(yu) 學習(xi) ，使用直觀，並有助於(yu) 確保在SEM上執行分析任務的重複性，尤其是在多個(ge) 操作者使用該係統的環境中。

3. 蔡司服務和係統支持

SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決(jue) 方案非常適合那些希望精簡分析設備供應商數量的客戶。所有安裝、預防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(ge) 係統服務合同中的內(nei) 容均由蔡司全麵負責，為(wei) 您的SEM分析解決(jue) 方案提供一站式的的支持。