經濟型三維共聚焦白光幹涉輪廓儀S lynx

Sensofar經濟型三維共聚焦白光幹涉輪廓儀

一、產品概述——緊湊、靈活、強大

經濟型三維共聚焦白光幹涉輪廓儀(yi) S lynx是款為(wei) 工業(ye) 和研究所設計的全新非接觸式3D表麵米兰竞猜足球官网首页，用於(yu) 工業(ye) 和科研應用，其設計定位是個(ge) 緊湊和靈活的係統。它設計簡潔、用途多樣。經濟型三維共聚焦白光幹涉輪廓儀(yi) S lynx能夠測量不同的材質，結構，表麵粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表麵形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融於(yu) 體(ti) ，確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件係統，用戶將獲得難以置信的直觀操作體(ti) 驗。

SENSOFAR公司作為(wei) 幹涉共焦顯微鏡的發明者，開創性地將共聚焦和幹涉技術結合在起，無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nei) 自動實現共聚焦、白光幹涉和相位差幹涉模式的切換。使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和幹涉儀(yi) 。

SENSOFAR在1999年創立之初，就是以三維表麵形貌測量為(wei) 主要研發方向，通過持續不斷地研發和申請利技術，在全球範圍內(nei) 創造了數百種表麵形貌測量應用產(chan) 品，積累了豐(feng) 富的技術實力。

二、主要應用

半導體(ti) 晶圓應用、汽車零部件、消費電子、能源、材料表麵、微電子、LED、微體(ti) 古生物學、光學鏡片加工、模具加工、鍾表製造、腐蝕表麵結構、摩擦學表麵結構。

三、主要特點及功能

1）  共聚焦

共聚焦技術可以用來測量各類樣品表麵的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨(lin) 界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表麵測量斜率達70°（粗糙表麵達86°）。利的共聚焦算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。

2） 幹涉

白光垂直掃描幹涉（VSI）是種廣泛用於(yu) 測量表麵特性（如形貌或透明薄膜結構）的功能強大的技術。它適合測量從(cong) 光滑到適度粗糙的表麵，無論物鏡的NA或者放大倍數變化，均可以提供納米的垂直分辨率。

3） 多焦麵疊加

多焦麵疊加技術是用來測量非常粗糙的表麵形貌。根據Sensofar在共聚焦和幹涉技術融合應用方麵的豐(feng) 富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的大亮點是快速(mm/s)、掃描範圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

4） 真彩色共聚焦圖像

每個(ge) 像素點都能還原真實的色彩，在掃描時紅、綠、藍三色LED交替照明，並將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，用這種技術獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝。

四、主要優勢：

1） 實時圖像    

SENSOSCAN為(wei) 您呈現的共聚焦實時圖像。我們(men) 的圖像質量和速度進一步提升，在共聚焦照明模式下可達9幀/秒，在明場照明模式下高達30幀/秒。與(yu) 此同時，還有多種實時圖像模式選擇。

2） 豐(feng) 富的參數設定

通過調整參數可優(you) 化測量步驟。例如，優(you) 化自動對焦設定能夠減少測量時間，采用多級的照明和優(you) 化掃描範圍可觀察複雜的3D形貌。優(you) 化後的測量參數可存儲(chu) 為(wei) 單點（SMR）或多點（MMR）程序測量。

3） 一鍵3D測量  

用戶隻需找到測量位置 ， 點擊3D測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動調整照明亮度，自動對焦，執行較佳的測量模式，將精準的測量結果於(yu) 彈指間為(wei) 您呈現。

4） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項。內(nei) 置測量軟件有測量尺寸，角度，距離，直徑，標注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決(jue) 各種分析任務的理想軟件。您還可選擇以下兩(liang) 套高階軟件來完成更複雜的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 進階分析

更豐(feng) 富的進階分析功能可進行數據補償(chang) ，形狀去除（平麵，球形，不規則形狀），濾波分析，剪裁和提取輪廓等。用戶可生成分析模版保證分析的連續性和一致性。