PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量

PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量係統，在透射電子顯微鏡中製造氣氛及高溫環境，實現1 Bar & 800 ℃的端觀測條件。

PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量係統，在透射電子顯微鏡中製造氣氛及高溫環境，實現1 Bar & 800 ℃的端觀測條件。該係統使研究者可以在原子尺度上實時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應，將您的透射電鏡從(cong) 一台靜態成像工具升級為(wei) 一套功能強大的納米實驗室。
       係統組成：

① 原位氣氛環境樣品杆：由樣品杆主體(ti) 、氣流通道、四電極加熱模塊和MEMS反應微腔組成。樣品被安置於(yu) 上下兩(liang) 片MEMS芯片以及配套的O圈組成的密封微腔內(nei) 。
② 真空檢漏係統：由進口分子泵組、高真空腔體(ti) 和高倍顯微鏡組成。用於(yu) 實驗前驗證MEMS反應微腔密封情況，確保在TEM中抽真空後不會(hui) 有氣體(ti) 泄漏。
③ MEMS反應微腔：由上下兩(liang) 片MEMS芯片組成，用於(yu) 搭載實驗樣品。樣品觀測區域覆蓋有高質量、高透過率的氮化矽薄膜窗口，窗口上覆蓋有四電極加熱區域，樣品搭載在加熱電極上。該MEMS反應微腔與(yu) 外接氣路通道以及加熱模塊高度耦合，從(cong) 而在TEM中實現氣氛環境與(yu) 高溫環境準確可控的原位觀測。
④ 氣氛環境控製箱：由三通道混氣模塊、渦輪真空泵、氣壓控製模塊、氣流控製模塊及配套附件組成。用於(yu) 在實驗中準確、穩定地控製MEMS反應微腔中的氣氛環境，控製微反應腔中的氣壓及氣體(ti) 流速。
⑤ 高性能PC及配套控製軟件：該係統中的加熱及氣氛環境均為(wei) 軟件控製，多種工作模式可選，功能強大，方便易用。
⑥ 溫控儀(yi) ：用於(yu) 控製MEMS反應微腔中的溫度，四個(ge) 電極通道，帶溫度反饋。
⑦ 樣品杆載具、裝樣附件及其他工具。

性能指標

透射電鏡指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 通氣後透射電子顯微鏡分辨率優(you) 於(yu) 0.1 nm。

加熱指標：

● 溫度範圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優(you) 於(yu) 5% ；

● 溫度穩定性：優(you) 於(yu) ±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控製。

氣體(ti) 流動指標：

● 三通道混氣

● 氣壓範圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體(ti) 流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體(ti) ：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控製。

MEMS反應微腔指標：

● 高質量氮化矽膜厚度25 nm；

● 樣品漂移優(you) 於(yu) 0.7 nm/min。

部分國內(nei) 用戶

部分國外用戶