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台式電鏡&台階儀(yi) &原位分析
澤攸TEM原位方案(樣品杆)
澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學測量係統
澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學測量係統,是在標配MEMS芯片樣品杆上集成低溫控製模塊,實現低溫電學測量或全溫區測量功能。
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PicoFemto透射電鏡原位MEMS低溫電學測量係統
澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學測量係統,是在標配MEMS芯片樣品杆上集成低溫控製模塊,實現低溫電學測量或全溫區測量功能。
性能指標:
1.透射電子顯微鏡指標:
(1)兼容指*型號電鏡及極靴;
(2)單傾(qing) 可選高傾(qing) 角版本;
(3)可選雙傾(qing) 版本,β角傾(qing) 轉±25°(同時受限於(yu) 極靴);
(4)測量電極數可選。
2.電學測量指標:
(1)包含一個(ge) 電流電壓測試單元;
(2)電壓輸出最大±200 V,最小±100 nV;
(3)電流測量最大±1.5 A,最小100 fA;
(4)恒壓或者恒流模式;
(5)自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,自動保存。
3.低溫指標:
(1)兼容MEMS加熱及電學芯片;
(2)全溫區測量,溫度範圍:85 K- 380 K;
(3)控溫穩定性:優(you) 於(yu) ±0.1 K;
(4)溫度連續可控。