美國ZYGO激光幹涉儀

美國ZYGO激光幹涉儀(yi) Verifire™ MST概述：

Verifire™ MST激光幹涉儀(yi) 可以進行三個(ge) 甚至四個(ge) 平行麵的測量，不僅(jin) 可以顯示所有的麵，並且可以排除其他的麵而單獨顯示你所需要的麵。

Verifire™ MST波長調製激光幹涉儀(yi) 詳情介紹：

美國ZYGO激光幹涉儀(yi) Verifire™ MST激光幹涉儀(yi) 提供了一個(ge) 嶄新的測量方式和能力，傳(chuan) 統的激光幹涉儀(yi) 應用是測量兩(liang) 個(ge) 麵的波前變化，也就是說測量一個(ge) 由兩(liang) 個(ge) 麵所形成的腔。但是，如果所測量的是一個(ge) 沒有經過鍍膜的平行平板，則就會(hui) 產(chan) 生兩(liang) 個(ge) 疊加的幹涉條紋（三個(ge) 麵的腔所形成），這樣就會(hui) 幹擾標準的位相幹涉測量分析。現在，ZYGO的Verifire™ MST激光幹涉儀(yi) 解決(jue) 了這一個(ge) 問題，通過波長調製技術和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進行三個(ge) 甚至四個(ge) 平行麵的測量，不僅(jin) 可以顯示所有的麵，並且可以排除其他的麵而單獨顯示你所需要的麵。

三平麵幹涉測量

激光幹涉儀(yi) 可以在你的測量中，隻要一次數據采集，就可以得到平行平板前表麵和後表麵的平麵度，同時還能得到平行平板的光學厚度：

• 前表麵形貌圖

• 光學厚度變化

• 物理厚度變化和後表麵形變

四表麵幹涉測量

這一技術能夠通過兩(liang) 次數據采集得到下列結果：

• 前表麵和後表麵的形貌圖

• 物理厚度變化

• 光學厚度變化

• 折射率變化
- 非線性材料均勻性
- 線性材料均勻性

多表麵樣品測量快速、簡單和質量提升

同時測量表麵形變和光學厚度變化

平行平板兩(liang) 側(ce) 測量就可以得到其均勻性：

• 不需要塗油就可以進行安全、快速測量

• 兩(liang) 次測量不需要進行調整

新型的線性材料均勻性測量

快速測量，隻需要幾分鍾而不是幾個(ge) 小時