美國ZYGO 激光幹涉儀

美國ZYGO 激光幹涉儀(yi) Verifire HDX激光幹涉儀(yi) 是為(wei) 超高精度的光學元件和係統設計和製造的，可以獲得元件表麵的中頻特征信息。係統包含現有Verifire HD的所有功能-比如QPSI和長壽命穩頻的激光器，並增加了重要的增強功能，如刷新行業(ye) 水平的分辨率和成像能力，儀(yi) 器傳(chuan) 遞函數（ITF）、出眾(zhong) 的中頻特征分析和大坡度表麵測試，同時也兼具了ZYGO DynaPhase®係列動態采集技術，可以去除震動引起的問題並且能夠在近乎任何環境中精準計量。

特殊設計優(you) 化的分辨率和性能

美國ZYGO 激光幹涉儀(yi) Verifire HDX激光幹涉儀(yi) 係統具有全新的光學設計，經過嚴(yan) 格設計，可為(wei) 其所配的3.4kx 3.4k（1160萬(wan) 像素）傳(chuan) 感器提供突破像素限製的性能，呈現增強的圖像，可以顯示出較低分辨率幹涉儀(yi) 難以辨識的表麵特征。這種超高的空間分辨率不會(hui) 以犧牲速度為(wei) 代價(jia) ，該係統在全分辨率下以幀率96 Hz運行，比其它高分辨率幹涉儀(yi) 速度快10倍，那些由於(yu) 采樣速度較慢在采樣的時候會(hui) 引入震動誤差從(cong) 而測試能力受限。

功率譜密度（PSD）和衍射分析工具完善了Verifire HDX激光幹涉儀(yi) 係統的中頻特征分析能力，並通過簡單直觀的用戶界麵來分析和報告綜合表麵特性。

光學麵形測試下的中頻特征分析

高質量的參考光學元件和配件

UltraFlat™和UltraSphere™超高精度透射平麵和球麵，麵形可以達到λ/40 PVr或更高，並且嚴(yan) 格控製PSD特征進行製造，以*優(you) 化中頻特征。推薦將這些高精度參考光學元件與(yu) Verifire HDX激光幹涉儀(yi) 一起配合使用，以完整實現和提升係統的性能。無論它們(men) 是被用於(yu) 垂直構型還是水平構型，UltraFlat透射平板麵形精度不變，從(cong) 而在測試設置中提供更大的靈活性。

超高精度平麵和球麵透射元件

Mx™ 軟件

ZYGO自主設計研發的Mx™分析軟件提供強大的操作功能和完整的數據分析功能，包括Zernike，斜率，PSD / MTF / PSF，棱鏡角度，角錐以及更多。該軟件集儀(yi) 器控製，數據采集和分析軟件包與(yu) 一體(ti) ，集成了製造過程控製，運行自動化和報告關(guan) 鍵中頻特征等工具包。軟件操作界麵簡單，直觀。它還包括了基於(yu) Python的腳本和遠程控製接口，以實現更大的靈活性並集成到複雜的測試設置中。

Mx軟件，澤尼克分析結果

ITF儀(yi) 器傳(chuan) 遞函數-它是什麽(me) ，為(wei) 什麽(me) 它是重要的

很多年來，大家一直關(guan) 注於(yu) 光學元件表麵的形狀誤差，但隨著對光學係統性能需求的增加，控製中頻特征（MSF）也變得同樣重要。對於(yu) 一些*高性能應用，需要嚴(yan) 格控製MSF特性以減少光散射並提高光學效率。

在校正形狀誤差方麵非常有效的小工具確定性拋光技術也會(hui) 將不期望得到的中頻特征賦予光學表麵。根據表麵特性的頻率和斜率，傳(chuan) 統的幹涉儀(yi) 係統-非常適合測量表麵形狀-由於(yu) 分辨率有限，無法測量和量化較高頻率的表麵特性。分辨率的缺失意味著更高的頻率細節被過濾（見右圖），並且在測量結果中可能根本不顯示。

這是儀(yi) 器傳(chuan) 輸函數（ITF）的所在。激光幹涉儀(yi) 係統由於(yu) 其自身的設計（光學設計，相機，波長）會(hui) 衰減和過濾部分表麵信息，決(jue) 定了該係統的ITF （測量光學表麵的空間頻譜的能力）。Verifire HDX激光幹涉儀(yi) 係統具有高分辨率3.4k x 3.4k傳(chuan) 感器和優(you) 化的光學設計，具有比任何商業(ye) 上可獲得的幹涉儀(yi) 係統更高的ITF，使其成為(wei) 可靠測量和量化光學表麵中頻特性的寶貴工具。這為(wei) 光學設計師們(men) 提供了一種新能力，可以自信地*定光學表麵到更高精度，並定義(yi) ITF測試要求來達到係統性能目標。

用特殊設計的台階板測量到的相位數據，台階板上刻有密集的40nm台階，按不同頻率沿著徑向發散變化。