SEM冷凍真空傳(chuan) 輸係統高匹配360°(無限)旋轉冷台，冷台傾(qing) 轉角度55°，冷台溫度≤180℃。

SEM熱電芯片台可搭配電學測試，兼容型號掃描電鏡，芯片兼容TEM-MEMS原位芯片樣品杆。

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量係統可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體(ti) 取向耦合等多場耦合研究。

PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體(ti) 化係統，集成了掃描探針控製單元，可在三維空間內(nei) 對電學探針與(yu) 光纖探針進行亞(ya) 納米級別精度的操縱與(yu) 定位。

PicoFemto掃描電鏡原位高溫拉伸台集成了力學拉伸模塊以及高溫環境模塊，可以實現在掃描電鏡中對樣品原位加熱的同時進行拉伸實驗。本產(chan) 品采用新一代的高溫拉伸方案，加熱台直接貼緊樣品，保證了溫度的準確度和穩定性。

掃描電鏡原位氣氛加熱環境測量係統將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品台上，在掃描電鏡中製造可控的氣氛環境並且可以對實驗樣品原位加熱。