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台式電鏡&台階儀(yi) &原位分析
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SEM納米探針台產(chan) 品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(you) 點,可應於(yu) SEM真空腔體(ti) 內(nei) 完成各種納米精度運動操作。
ZP3-4 微納探針台探針數量:4個(ge) 探頭,每個(ge) 探頭配備一個(ge) 三軸探針臂;自由度:每個(ge) 探頭獨立驅動(X、Y、Z三自由度)。
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