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台式電鏡&台階儀(yi) &原位分析
澤攸探針台及低溫係統
產(chan) 品分類
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澤攸幹式液氦溫區探針台 LHe-6H-06產(chan) 品特點,真空腔體(ti) :真空度優(you) 於(yu) 610-4 Pa。降溫後優(you) 於(yu) 610-5 Pa。留有2個(ge) 用戶法蘭(lan) 接口(KF40可接入氣體(ti) 或者額外的電纜)。
澤攸室溫自動探針台 TZ-H-06,高可靠性探針台係統,主要應用在半導體(ti) /微電子, 電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片等科學研究領域,以及IC設計/製造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chan) 製造領域。
澤攸液氦低溫恒溫器低溫係統超低震動幹式液氦光學低溫恒溫器係統,使用氣體(ti) 導熱隔震,實現樣品台納米級的機械穩定性。為(wei) 有效降低環境震動影響,產(chan) 品設計安裝在光學隔震平台上。
澤攸低溫液氮探針台 LN-4H-06產(chan) 品主要是由真空腔體(ti) 、探針控製、顯微鏡模塊、變溫樣品台、進口分子泵組、全旺程真空規、智能溫控儀(yi) 等組成。
澤攸SEM納米探針台產(chan) 品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(you) 點,可應於(yu) SEM真空腔體(ti) 內(nei) 完成各種納米精度運動操作。