主動照明多焦麵疊加是一種為(wei) 了測量粗糙的表麵形狀而開發的光學技術。這項技術基於(yu) Sensofar在共聚焦和幹涉3D測量領域的廣泛專(zhuan) 業(ye) 知識，專(zhuan) 門設計用於(yu) 補充低放大率下的測量。BACKGROUND多焦麵疊加原理主動照明多焦麵疊加技術利用了明場中存在景深的特點，樣品隻有在的特定z範圍中對焦。景深會(hui) 根據物鏡的數值孔徑或光源波長而變化。Z高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來計算的，從(cong) 而得出正確的對焦位置。光學技術我們(men) 的光學技術是通過專(zhuan) *的microdisplay來實現，光線會(hui) ...

Sensofar共聚焦白光幹涉儀(yi) |共聚焦技術共聚焦技術能夠測量表麵高度，將常規圖像轉換成光學剖麵，其中，物鏡焦深範圍內(nei) 的那些區域的信號被保留，改善了圖像對比度、橫向分辨率和係統噪聲。光學方案對於(yu) 3D成像，必須從(cong) 相機的所有像素獲取數據。這意味著：重新構建共聚焦圖像。為(wei) 此，多狹縫圖像偏移一個(ge) 像素，達到必要的次數，以填充相機。多狹縫每偏移一次，拍一張相機圖像，對那一刻照亮的像素應用共聚焦算法。SENSOFAR專(zhuan) *技術光學結構中沒有運動零件Sensofar係統中實施的共聚焦掃描技術是...

幹涉工作原理幹涉技術的工作原理是：將光分成光學傳(chuan) 播路徑不同的兩(liang) 個(ge) 光束，然後再合並，從(cong) 而產(chan) 生幹涉。幹涉物鏡允許顯微鏡作為(wei) 幹涉儀(yi) 而工作；焦點對準後，可在樣本上觀察到條紋。光學方案PSI的光學方案與(yu) FV具有相同配置，但是現在采用幹涉物鏡而不是明場。為(wei) 了獲得形貌，沿著Z方向掃描傳(chuan) 感器頭。對於(yu) PSI，掃描幾微米，並檢索相位。對於(yu) CSI，掃描需要的微米數，以掃描完整表麵。PSI:相移幹涉對於(yu) 所有數值孔徑(NA)，開發了相移幹涉法(PSI)，以亞(ya) 埃分辨率測量高度光滑和連續表麵的高度。可以使...

薄膜透明層沉積在表麵上時，其反射率會(hui) 變化。該係統獲取可見範圍內(nei) 樣本的反射光譜，並與(yu) 軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到匹配的厚度。對於(yu) 薄膜，厚度與(yu) 光波長類似，我們(men) 沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應。主要特征從(cong) 50nm到1.5μm厚的透明薄膜可在不到5秒的時間內(nei) 測得從(cong) 50nm到1.5μm厚的透明薄膜不到5秒內(nei) 采集一個(ge) 物鏡可覆蓋整個(ge) 範圍不同光斑大小(3.5μm到40μm)

SensofarCSI（白光幹涉）是如何運作的?Sensofar幹涉為(wei) 了測量超光滑的表麵及中等粗糙表麵的表麵高度，通過幹涉技術，可在任何放大倍率下實現相同的係統噪聲，它可實現優(you) 於(yu) 0.01nm的係統噪聲。幹涉工作原理幹涉技術的工作原理是：將光分成光學傳(chuan) 播路徑不同的兩(liang) 個(ge) 光束，然後再合並，從(cong) 而產(chan) 生幹涉。幹涉物鏡允許顯微鏡作為(wei) 幹涉儀(yi) 而工作；焦點對準後，可在樣本上觀察到條紋。CSI（白光幹涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表麵的表麵高度，任何放大倍率下均達到1nm的高度分辨率。采用幹涉法，...

本案例研究中，Linkam和SensofarMetrology展示了在為(wei) 溫控光學輪廓測量實驗生產(chan) 實驗裝置方麵的合作。由於(yu) 球麵像差引起的成像問題，在過去一直是一個(ge) 難點工序。使用Linkam的精密冷熱台和Sensofar的Linnik物鏡解決(jue) 了這些問題，實現了納米材料3D形貌輪廓的精確測量。我們(men) 觀察了矽晶片在20°C到380°C溫度範圍內(nei) 的形貌變化。快速熱處理（RTP）是矽晶片製造過程中的一個(ge) 重要步驟，其中晶片在短時間內(nei) 快速加熱到高溫，然後以受控方式緩慢冷卻，為(wei) 晶片賦予所需的半導...

我們(men) 的研究涉及設計產(chan) 生幹涉顏色的微結構。我們(men) 對這種光學機製的第一次報告出現在Goodling,A.E.,等(2019)的論文中。“通過微尺度凹麵界麵的全內(nei) 反射和幹涉實現的顏色化。”Nature566(7745):523-527。光在微結構內(nei) 通過全內(nei) 反射反彈，並且在經曆不同反射路徑的光線之間發生光學幹涉。我們(men) 設計微結構化表麵來控製光的反射和產(chan) 生的顏色。我們(men) 需要測量表麵地形，以便將光學性質與(yu) 表麵幾何形狀關(guan) 聯起來。微結構的幾何形狀，如它們(men) 的深度、寬度、角度和表麵粗糙度都會(hui) 影響光學性...

該案例研究專(zhuan) 注於(yu) 開發具有高硬度和同時具有較低摩擦係數的納米複合W-C:H塗層。我們(men) 研究了在混合PVD-PECVD工藝中由添加到濺射大氣中的烴（主要是乙炔）得到的不同氫化碳基質含量的W-C:H塗層係統。塗層是使用三種不同的PVD技術（直流磁控濺射、HiPIMS、HiTUS）製備的，通過不同的烴氣添加來控製氫化碳的含量。由於(yu) 此處研究的塗層的摩擦行為(wei) 是由球上的轉移層形成來控製的，而我們(men) 早期的工作重點是研究硬度和摩擦係數之間的基本關(guan) 係，因此重點轉向了轉移層本身的演變的研究。重要的是要...